Détection du centre de plaques à l'aide du DF-G2

Dans l'industrie des semi-conducteurs, il est fondamental de pouvoir détecter le positionnement d'une plaque étant donné les sommes en jeu : une plaque coûte jusqu'à 100 000 dollars et les machines impliquées valent plusieurs millions de dollars.

En s'assurant que les plaques sont correctement positionnées, les fabricants évitent que celles-ci et les équipements soient endommagés. La détection du centre de la plaque permet aux opérateurs de vérifier que la plaque est bien positionnée sur le bras robotisé pendant son installation dans la chambre.

Vos avantages

  • Coûts et rebuts réduits en s'assurant que les plaques sont correctement positionnées
  • Diminution des temps d'arrêt de production

  • Détection du centre de plaques l'aide du DF-G2

En associant le DF-G2 de Banner avec quatre détecteurs à fibre optique PLIS-1 en mode barrière, les opérateurs sont certains que la plaque est placée correctement sur l'effecteur à l'extrémité du bras robotisé et qu'elle ne risque pas d'être endommagée pendant son transfert vers la chambre. Le déplacement de la plaque vers la chambre interrompt les faisceaux des détecteurs, et la position exacte de la plaque est calculée par un algorithme basé sur le moment précis où les faisceaux ont été interrompus.

Grâce au temps de réponse rapide du DF-G2, le centre de la plaque est rapidement mesuré et détecté. Si la plaque est décentrée, le bras robotisé a le temps de repositionner la plaque, évitant ainsi tout dégât éventuel à la plaque et au matériel.

Les détecteurs à fibre optique PLIS-1 en mode barrière disposent d'un angle de vision de 90⁰ avec un faisceau très étroit, ce qui permet de mesurer précisément la position de la plaque. Ces fibres conviennent également à des environnements à température élevée, tels que la chambre à vide d'un site de fabrication de semi-conducteurs. L'amplificateur déporté constitue une solution optimale lorsque l'espace est limité.